据悉，日前，万业企业旗下嘉芯半导体设备科技有限公司（以下简称“嘉芯半导体”）与嘉善复旦研究院宣布达成战略合作。
万业企业官微表示，根据战略合作协议的内容，双方建立战略合作伙伴关系，就集成电路领域的科研合作、产业合作、人才交流等方面形成长期稳定的合作关系。
资料显示，嘉芯半导体于2021年4月由半导体设备上市公司万业企业携手全球产业专家共同投资成立，总投资规模达20亿元，用地面积109亩，公司研发及制造刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等等集成电路成熟工艺的关键设备，产品范围覆盖芯片制造核心设备的多个重要品类。
据了解，自2022年下半年开始，嘉芯半导体多次中标客户特色工艺生产线，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（metal Sputter(Al/Ti/TiN)）、快速热处理（RTP）设备以及双燃烧+双水洗尾气处理等多类设备。
