10 月 25 日，中微半导体设备（上海）股份有限公司宣布：全球第 500 台 MOCVD 设备顺利付运国内一家专业从事 LED 外延片和芯片的研发生产制造商。本批次运付的第 500 台 MOCVD 设备为中微公司 2021 年 6 月推出的 Prismo UniMax ®，主要用于氮化镓基 Mini LED 外延片量产。
作为专为高性能 Mini LED 量产而设计的 MOCVD 设备，Prismo UniMax ® 具备高产能和高灵活性的特点，在同一系统中可配备多达 4 个反应腔，每个反应腔均可实现独立控制。Prismo UniMax ® 配置了 785mm 大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计配置，最多可实现同时加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片，有效提高产能并降低生产成本。此外，Prismo UniMax ® 创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度提升 LED 波长均匀性。
