半导体产业网讯：10月25日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）宣布其MOCVD设备系列喜迎又一里程碑：全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。这一里程碑既是中微公司MOCVD产品的卓越性能与服务的专业优势的充分证明，也是对公司持续创新的技术能力与稳步发展的综合实力的认可与肯定。
本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®，主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。随着近些年来光电产业的飞速发展，Mini LED已广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。
自面世以来， Prismo UniMax® MOCVD设备凭借优异的波长均匀性、高能效和高产能等优势迅速获得了市场认可，团队专业及时的现场支持和细致规范的技术服务也备受客户青睐。作为专为高性能Mini LED量产而设计的MOCVD设备，Prismo UniMax®具备高产能和高灵活性的特点，在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔均可实现独立控制。Prismo UniMax®配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计配置，最多可实现同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高产能并降低生产成本。此外，Prismo UniMax®创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度提升LED波长均匀性。
目前，中微公司开发的一系列MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上已全面投入量产。Prismo UniMax®是MOCVD设备系列新一代产品，该产品系列还包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。2013年，中微公司率先发布国内自主研发制造的量产型MOCVD设备Prismo D-BLUE®。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相继推出了Prismo A7®、Prismo HiT3®、Prismo UniMax®和Prismo PD5®产品。
“此次里程碑是中微公司取得的又一次重要突破，为今后MOCVD产品市场进一步开拓奠定了坚实的基础。”中微公司副总裁兼MOCVD产品事业部总经理郭世平博士表示：“我们感到十分自豪，中微公司开发的一系列MOCVD设备，获得了客户与市场的广泛认可，部分产品在细分领域市占率达到全球排名第一。未来，随着新应用的进一步拓展，我们将继续推进与客户的密切合作交流，通过技术领域的持续创新，不断为客户提供极具竞争力的产品和解决方案，实现稳步发展与深度共赢，共同谱写产业更加美好的明天。”
*Prismo D-BLUE®, Primo A7®, Prismo HiT3®，Prismo PD5® 和 Prismo UniMax® 是中微公司的注册商标。
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户先进工艺的众多刻蚀应用，中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。
