(晶型拉曼图谱检测报告)
衬底直径是衡量晶体制备水平的重要指标之一,天岳先进较早布局了8英寸产品的研发,是国内最早研发和布局产业化的企业之一。目前公司8英寸碳化硅衬底研发进展顺利,晶型均一稳定,具有良好的结晶质量。
有别于单晶硅等材料在生长过程中可以扩径的特点,碳化硅衬底材料的扩径需要先制备大尺寸籽晶,并且需要对缺陷和应力分布等进行严格控制。天岳先进从籽晶入手,在粉料合成、热场设计、工艺固化、过程控制、加工检测等全流程实现技术自主可控。
公司持续加大8英寸导电型衬底产业化突破。在前期自主扩径实现8英寸产品研发成功的基础上,将继续加大技术和工艺突破,并根据市场需求,积极布局产业化。
(来源:天岳先进)
(来源:天岳先进)