近日，中国招标头条公公服务平台发布等离子体介质刻蚀机中标结果公告显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）中标华虹半导体（无锡）有限公司（以下简称“华虹无锡”）12台刻蚀机。
Source：全国招标投标公共服务平台公告
信息显示，中微公司本次中标的12台刻蚀机设备包括3台钝化膜等离子体刻蚀机、7台氧化膜等离子体刻蚀机、2台氮化硅等离子体刻蚀机。
中微公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，是国内高端微观加工设备的知名企业之一。产品主要包括CCP刻蚀设备、ICP刻蚀设备、MOCVD设备等。
