日前,由上海果纳半导体设备有限公司研发团队自主设计生产的国产首台8LP双天车系统的sorter(晶圆传输设备),取得终端客户认证。晶圆传输设备在实现国产化的道路上再次获得技术突破;作为国内半导体传输设备制造的新锐企业,果纳由刚刚被评为“2022最值得关注的女性创业者”之一的创始人叶莹女士的布局发展下,历经短短1年多的快速发展中,陆续获得国内多家知名半导体设备及制造企业的认可,团队以优质快速的服务响应,满足客户定制化的产品研发理念;不断攻克技术难题,对标国际先进水平,打破行业技术垄断,实现弯道超越。这是国产半导体产业良性发展的关键,同时代表着芯片行业细分领域国产自动化设备取得长足进展。
该项目负责人介绍——由果纳自主研发的GN208型8 Loadport SORTER 在西安奕斯伟硅片技术有限公司认证通过,今天正式生产。该机台设备是用于12寸大硅片厂出货前的分选工序,其配备了8套晶圆承载系统,分设备两侧对称安装,可实现两侧同时对接天车。GN208设备结构布局紧凑,占地面积小,分选效率高,有效提高了客户厂房厂务的利用率。
同时,果纳GN208 SORTER机台在设计上采用了恒压微环境的设计概念,使设备内部的晶圆传送区域始终保持较高洁净度等级。通过设计上的保障,严格的组装工艺,以及现场专业的服务团队,该设备仅用了1个月的时间通过了50nm和28nm的particle、edge metal连续测试。
另外,果纳GN208 SORTER 机台配置了更友好的人机界面系统,更便于操作和监控晶圆的分选路径,轻松实现单仓排序,跨仓调配。同时,设备可识别兼容多种晶圆料盒,并搭载高精度晶圆ID读码器,使分选工作更高效可靠。设备采用了完全国内自主开发的SECS/GEM半导体标准传输协议,现已顺利通过客户的EAP测试。