全球光刻机龙头厂商ASML发布了2021年度报告。报告显示其2021年度营收186亿欧元，毛利率52.7%，研发支出25亿欧元，净利润达59亿欧元，各项业绩指标都大幅增长，员工总数也达到了3.2万多人。
不过，在这份2021年度报告当中，ASML也提到了对于其商业秘密、专有客户数据、知识产权或其他机密信息遭到第三方或自家员工窃取的担忧。ASML称，2021年经相关报道了解到，与之前因窃密而被判赔偿的XTAL公司的相关公司——东方晶源可能正积极地在中国销售侵犯ASML知识产权的产品。
ASML表示，已经联系了部分客户要求暂停与XTAL有关联的东方晶源的业务往来，并已告知中国政府相关情况。ASML称，其正在“密切关注这一情况，并准备在适当的时候采取法律行动”。
资料显示，XTAL公司成立于2014年，由至少两名前ASML员工创立，他们曾在ASML-Brion部门工作，该部门是计算光刻领域的领导者。XTAL得到了富裕国际投资者财团的大力资助。虽然ASML最初被告知XTAL的业务不包括计算光刻，但实际上，XTAL的业务不仅包括了计算光刻，而且非法利用ASML-Brion在该领域的相关技术。在XTAL公司成立一年后，就抢下了ASML的多个大客户，包括电子巨头三星公司。
随后，在2016年ASML公司对XTAL公司发起了诉讼。根据指控，ASML美国子公司的几名员员窃取公司机密——源代码、软件、公司定价策略和供内部使用的设备手册，并将这些机密传给XTAL公司。2018年11月28日，在美国加州圣克拉拉联邦法院、陪审团做出本案的初步裁决，裁定XTAL盗窃知识产权的行为属于恶意，ASML对XTAL提出的所有五项罪名成立，可依法获得惩罚性赔偿。这五项罪名包括：诱使ASML前雇员违反合同、协助和教唆前雇员违反其诚信义务，以及多次违反加州的计算机数据访问和欺诈法案。
但一个月后，XTAL公司申请破产，造成美国加州圣克拉拉市法院只能延迟判决，直到破产法院的程序结束后，最终于2019年5月3日发出最终判决结果，ASML获得胜诉，XTAL需赔偿ASML 8.45亿美元赔偿，ASML接手了已破产的XTAL的大部分知识产权。
当时有荷兰媒体《Financieele Dagblad》报道称，ASML美国子公司研发部门的六名中国籍员工参与窃取相关技术，并与XTAL分享了ASML软件流程的信息，这违反了他们的雇佣合同。另外，经调查发现，XTAL的中国母公司是东方晶源。
对此报道，当时ASML予以了驳斥。ASML CEO Peter Wennink表示，“报道中有很多失实的地方，这一报道试图扭曲事实，窃取知识产权的不仅仅有中国公民，也有其他国家的，却被有意的进行扭曲。”“这些员工来自于不同国家，他们窃取了ASML产品和服务的一小部分，将其出售给了ASML位于韩国的客户。此外，XTAL是一家有韩国和中国资金支持的公司。”
但是，对于XTAL与东方晶源是否存在关联，ASML当时并未予以回应，主要原因可能是缺乏确凿的证据。此次，ASML在2021年度报告中明确指出，已要求部分客户暂停与XTAL有关联的东方晶源的业务往来，并表示“准备在适当的时候采取法律行动”，恐怕是已经掌握了一些证据。
不过，据某ASML相关人士向芯智讯透露称：“XTAL的官司早已了结，该公司已破产告终。国内关联的则是东方晶源，（其相关设备代码）连error code的拼写错误都一模一样。”资料显示，东方晶源成立于2014年，创立之初即确立了以电子束图像检测、关键尺寸量测和计算光刻技术为主攻方向。截止目前，东方晶源成功自主研发了计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）三款核心产品，填补了多项国内市场空白，已经成为解决我国集成电路领域“卡脖子”问题的重要力量，对全产业链自主可控具有重要的战略价值和意义。
根据东方晶源公众号消息显示，2021年上半年，东方晶源的CD-SEM成功出机国内晶圆代工龙头企业，市场地位进一步夯实；02国家重大专项、工业强基等项目顺利推进；成功被评定为第三批国家级专精特新“小巨人”企业。此外，在客户的支持下，东方晶源一举拿下多个重要订单，东方晶源三款核心产品均已在客户产线验证并实现订单，三款产品也因此填补国内空白。
2021年9月，东方晶源还宣布已完成新一轮数亿元股权融资。该轮融资由赛领资本、深创投领投，众多知名投资机构联合投资。东方晶源称，此轮融资将有助于其加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程，加速在集成电路良率管理领域的整体布局。
根据官网资料显示，目前东方晶源申报国内外发明专利146项，授权发明专利49项，软件著作权14项，注册商标15项。目前，对于ASML此番在2021年度报告当中的指控，东方晶源方面并未回应。
