2021年，ASML全年营收增长33%，达186亿欧元。其中EUV光刻机销售额为63亿欧元（约合453亿人民币），较去年增长41%；非EUV光刻机销售额为74亿欧元（约合532亿人民币），较去年增长26%。
在订单方面，2021年ASML总预定订单金额为262亿欧元（约合1886亿人民币），同比增长超过200%。在细分市场，ASML来自逻辑终端的收入为96亿欧元（约合691亿人民币），增长30%；来自内存终端的收入则为41亿欧元（约合295亿人民币），比去年增长39%，光刻机系统销售额超过136亿欧元（约合979亿人民币）。安装基础业务增长了约35%，为50亿欧元（约合360亿人民币）。2021年，ASML研发支出为25亿欧元（约合180亿人民币），占2021年销售额的14%。2021全年，ASML光刻机销售额为136.53亿欧元，其中最先进的EUV光刻机销售额占46%，ArFi光刻机销售额占36%较去年有所下降。
报道指出，阿斯麦在2021年总共出货286台光刻机，但他家的掌门人直言，目前仍处于供不应求的状态，客户需求已经比既有产能高出近40%。要知道，阿斯麦的背后股东可是包含台积电、三星电子这两大芯片巨头在内，本来台积电、三星电子在2021年的芯片产能就处于满负荷状态，对于半导体设备的需求自然跟着水涨船高。
与此同时，为了尽快推进自己的高端芯片制程，同时加紧追赶台积电和三星，美国巨头英特尔还先下手为强，找阿斯麦采购了最先进级别的光刻机——EXE:5000，是全球第一家拿到此设备的公司。该光刻机是ASML最新的High-NA光刻机，有着更高的光刻精度，EXE:5000光刻机能够提供0.55 NA的数值孔径，相比于先前配备0.33 NA透镜的EUV光刻机，EXE:5000精度更高，能够在光刻中实现更高的分辨率，制造尺寸更小的晶体管。单台售价超过3亿美元（约合19亿人民币），预计将在2024年出货，将在2025年进入产线。
