阿斯麦已在官网上公布了柏林工厂发生火灾的消息，从官网的信息来看，发生火灾的工厂，是阿斯麦的一座零部件工厂，生产晶圆台、网纹卡盘和镜像块等。发生火灾的这一工厂，原属于阿斯麦的供应商Berliner Glas，阿斯麦在2020年收购了这一公司，收购金额尚未披露，有报道称是花费了2.3亿欧元，也就是约2.36亿美元。?
由于阿斯麦是全球重要的光刻机制造商，也是目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商，在全球多领域芯片短缺的背景下，阿斯麦光刻机的生产及交付至关重要，柏林工厂的火灾是否会影响到生产就备受关注。另外，由于光刻机由众多部件组装而成，任何部件生产的推迟，都可能影响到光刻机最终的生产和交付，进而影响到芯片厂商扩大产能。
ASML发布的消息指出，过去几日进行的初步评估显示，柏林制造基地部分生产线有遭大火毁坏，冒出的浓烟也部分影响了隔壁栋。这些受影响的建筑已顺利恢复一些生产作业，柏林厂区的其他建筑则未受影响，一直都能正常运作。
ASML仍在持续评估受损情况，目前的检视结果如下：
1.计量（Metrology）和检测（Inspection）产出计划未受影响，因为使用的零组件并非来自柏林厂。
2.深紫外光曝光设备（DUV）零件生产已获重启。虽然DUV零件受到一些干扰，但ASML应能设法解决问题，不会影响DUV的产出及营收计划。
3.关于极紫外光（EUV）微影设备，火灾影响了晶圆夹（wafer clamp）一部分生产区域，这是EUV系统的一项模块。ASML还在设法让这个生产区恢复正常，也在评估要如何调整产出计划、现场服务，让EUV客户可能受到的影响降至最低。
ASML预定2022年1月19日公布第四季和2021年财报，以及2022年的初步展望，届时也会针对这起意外公布更多细节。
ASML柏林厂主要制造微影系统需要的零组件，当中包括晶圆固定工作台、晶圆夹具、光罩吸盘、反射镜等。ASML在2020年并购德商Berliner Glas。
根据外媒报导，分析人士直指，若ASML的EUV设备出货量因为这场火灾缩减10%，则可能让全球微影设备供应量暂时减少8.4%，因为ASML拥有84%的市占率。
