中科院半导体研究所张逸韵：玻璃衬底氮化物异构外延

近日，第七届国际第三代半导体论坛暨第十八届中国国际半导体照明论坛（IFWS & SSLCHINA 2021）的“氮化物半导体衬底与外延技术“分论坛上，中国科学院半导体研究所研究员张逸韵做了题为“氮化物‘异构外延’”的主题报告。

报告详细介绍了非晶玻璃上氮化物的异质外延以及通过应变工程实现高外延，涉及如何控制平面内旋转、非晶子上近单晶氮化物薄膜的外延、非晶石墨烯-玻璃晶圆上的高效LED等内容。

 

 

 

（内容根据现场资料整理，如有出入敬请谅解）