西安电子科技大学宁静:基于维度调控的GaN紫外LED及光电集成

日期:2021-12-11 来源:半导体产业网阅读:370
核心提示:近年来,随着航空航天、新能源以及生物医学等领域对于光电器件柔性化、多功能集成、高密度集成和微型化的需求日益增加,发展基于
 近年来,随着航空航天、新能源以及生物医学等领域对于光电器件柔性化、多功能集成、高密度集成和微型化的需求日益增加,发展基于半导体异质集成材料及功能器件成为突破当前技术瓶颈的重要环节和关键方向。以氮化镓(GaN)为代表的三维宽禁带半导体材料是光电器件的核心材料,广泛应用于各类光电器件中。由于受到外延衬底的限制,实现柔性需要用到机械磨抛、激光剥离等进行剥离工艺。但这种激光剥离工艺对GaN材料特别是二维电子气特性造成严重的不利影响和永久损伤,且工艺复杂。多维度调控异质结界面以弱的范德华力结合,不受晶格匹配和工艺兼容性的限制,能够在性能和功能上都表现出显著的先进性,能够极大程度上拓展传统宽禁带半导体器件的物理形态及应用范围,是未来光电技术发展的重要方向。
 
近日,由第三代半导体产业技术创新战略联盟(CASA)、国家半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)联合主办,北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司与半导体产业网共同承办的第七届国际第三代半导体论坛暨第十八届中国国际半导体照明论坛(IFWS & SSLCHINA 2021)在深圳会展中心举行。
宁静
期间,“固态紫外材料与器件技术“论坛上,西安电子科技大学副教授宁静做了题为“基于维度调控的GaN紫外LED及光电集成”的主题报告。
 
报告指出,可见光信息传输系统的出现正在深刻影响着物联网技术的未来,物联网复杂的传感和驱动电路已成为阻碍信号转换和处理的关键因素。研究首次报道了可转印的大面积的GaN外延材料,发展了多维度异质结在宽禁带材料生长机理。采用了磁控溅射氮化铝/石墨烯复合缓冲层在c面蓝宝石衬底上生长出大面积高质量的GaN薄膜,成功实现了微小电流下国际最高亮度的柔性GaN紫外LED。进一步将提出柔性传感器与LED阵列集成技术,成功实现了高灵敏度、高稳定性的硅基GaN自变压光电集成系统(SVV-LTS),并展示了其在低功率、自供电光通信传输系统中的应用潜力。研究将为实现影响物联网技术的低功率光通信传输系统提供一种新方法,同时也是基于GaN新型生长机理的原创性工作,对扩展宽禁带半导体材料异质集成应用具有重要指导意义。
 
(内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解)
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