近日,第七届国际第三代半导体论坛暨第十八届中国国际半导体照明论坛(IFWS&SSLCHINA 2021)在深圳会展中心举行。期间,由广东中民工业技术创新研究院有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、佛山市国星光电股份有限公司、北京康美特科技股份有限公司协办支持的“Mini/Micro-LED技术产业应用论坛“上,香港科技大学首席教授刘纪美,康佳集团技术研发中心总经理林伟瀚,半导体照明联合创新国家重点实验室常务副院长、NB-IoT智能照明研究院副院长熊敬康,TCL华星光电技术有限公司研发中心新技术开发部部长徐洪远,中微半导体设备(上海)股份有限公司MOCVD资深工艺工程师胡建正,苏州晶湛半导体有限公司研发经理张丽旸,俄罗斯STR软件集团付昊等精英专家们通过线上线下带来精彩报告,分享前沿研究成果。福州大学教授严群和南京大学电子科学与工程学院副院长、教授刘斌共同主持了本次论坛。
香港科技大学首席教授刘纪美做了题为“实现Micro-LED 全彩微型显示器的单片方法”的视频报告,从基于GaN的LED外延晶片开始,讨论了实现微型LED全彩微型显示器的多种单片方法。 展示了显示器的可行可制造性和良好的视觉质量,展示了用于增强现实 (AR) 应用的小尺寸 Micro-LED全彩微型显示器的巨大潜力。
康佳集团技术研发中心总经理林伟瀚做了题为”量子点在Micro/Mini上的应用解析“的主题报告。详细分享了显示应用趋势以及量子点在Micro/Mini LED的应用。随着元宇宙等的兴起,显示无处不在,显示清晰度越来越高清,新型显示技术也将应运而生。Micro LED在车载显示、近眼显示、智能手表、大尺寸(TV)等领域有很好的应用潜力,报告中还分享了芯片微缩化、巨量转移、彩色化等关键技术进展。
半导体照明联合创新国家重点实验室常务副院长、NB-IoT智能照明研究院副院长熊敬康做了题为”Mini & Micro-LED显示像素光隔离喷墨技术工艺探讨“的主题报告,MINI&Micro LED作为直接显示时,“串光”和和“泛光”是一大挑战。这对这一难题,报告中,分享了一种新的喷墨工艺和设备。同时针对此工艺还开发了专用墨水,具有极其稳定的喷射可靠性,可打印出高质量的图像,并仅需要少量的光量即可固化的特点。
TCL华星光电技术有限公司研发中心新技术开发部部长徐洪远做了题为”Mini-LED技术开发进展“的主题报告,分享了Mini LED发展趋势及技术进展。报告指出,MiniLED背光的TV/MNT/NB产品出货量逐年递增,小间距MiniLED直显出货量逐年递增;P<1.1市场高速成长,未来取代P1.2-1.6成为主要战场。
Mini/micro-LEDs在高端显示应用方面具有高对比度、高动态范围、轻薄、低能耗等优点,近年来正受到越来越多的关注。中微半导体设备(上海)股份有限公司MOCVD工艺技术总监胡建正分享了“中微Prismo UniMax®- 用于蓝绿光mini-LED生产的MOCVD新型装备”最新进展。中微公司开发的Prismo系列MOCVD设备可广泛应用于生产基于III族氮化物的各类器件,包括蓝绿光LED、深紫外LED以及功率器件。与用于照明的传统LED相比,Mini/Micro-LED对外延片的波长均匀性和颗粒数量有更严苛的要求。需要开发新型MOCVD平台以提高外延片的波长均匀性、降低颗粒数量,从而实现Mini/Micro-LED的商业化应用。
苏州晶湛半导体有限公司研发经理张丽旸分享了微显示市场驱动下Micro-LED外延技术的进展,外延技术面临着高效红光、波长一致性、大尺寸晶圆等难点,报告中,结合晶湛的研究,分享了最新技术进展。
俄罗斯STR软件集团付昊做了题为“Mini/Micro-LED 芯片设计的缩放和优化”的主题报告,报告指出,微型和微型LED技术的发展需要现在有效且工程上采用的仿真工具来优化 μ-LED 结构和芯片设计。只有耦合的电-热-光3D建模才能充分模拟μ-LED中发生的复杂过程。表面复合是影响m-和μ-LED工作的最重要因素之一。
会议期间,围绕着Micro-LED 量产、巨量转移技术等主题,福州大学教授严群、厦门大学物理科学与技术学院副院长、教授黄凯,康佳集团技术研发中心总经理林伟瀚、TCL华星光电技术有限公司研发中心新技术开发部部长徐洪远、北京易美新创科技有限公司执行副总裁刘国旭博士、苏州晶湛半导体有限公司研发经理张丽旸等与会嘉宾展开了一场热烈对话,从不同的角度分享,互动交流碰撞,带来不同视角的信息与启发。
(内容根据现场资料整理,如有出入敬请谅解)