北方华创王显刚：化合物半导体工艺设备解决方案

 

期间， “IFWS  2021：碳化硅功率器件与封装应用论坛“成功召开。会议由芜湖启迪半导体有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、北京北方华创微电子装备有限公司、德国爱思强股份有限公司协办支持。

▲北京北方华创微电子装备有限公司LED及化合物半导体行业发展部总经理王显刚
 

会上，北京北方华创微电子装备有限公司LED及化合物半导体行业发展部总经理王显刚分享了“化合物半导体工艺设备解决方案”主题报告。

北京北方华创微电子装备有限公司经过二十年的发展，北方华创已成为国内领先的半导体装备制造与服务商。在化合物半导体领域，NAURA定制开发了化合物半导体刻蚀机、PECVD系统、槽式清洗系统和卧式扩散/氧化系统，为客户提供全面的设备及工艺解决方案。北方华创专注器件工艺研发，包括SiN/GaN 慢速低损伤刻蚀设备，SiC通孔高速刻蚀设备，高致密、低应力的PECVD薄膜沉积设备等均已在国内多条主流生产线上批量应用。

在SiC量产线上，应用于SiC功率器件的Etch、PVD、清洗设备、PEVCD、卧式炉等关键工艺设备在国内主流产线上也已大规模应用。国内首台量产型SiC高温氧化退火/高温激活立式炉在客户端实现量产应用；公司的SiC长晶炉已在客户端批量投入使用。