中微公司称,公司持续从三个维度扩展业务布局:深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会。在集成电路设备领域,将持续强化在刻蚀设备领域的竞争优势,并延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域;计划扩展在泛半导体领域设备的应用,布局显示、MEMS、功率器件、太阳能领域的关键设备;拟探索其他新兴领域的机会,利用好设备及工艺技术,考虑从设备制造向器件大规模生产的机会,以及探索更多集成电路及泛半导体设备生产线相关领域的市场机会。
而在Mini-Led设备方面,中微公司前期与多家客户合作,根据客户需求进行产线评估验证并取得良好进展。其于2021年6月17日正式发布用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备Prismo UniMax™。目前该设备在客户端进度良好。Prismo UniMax™MOCVD设备专为高产量而设计,具有业内领先的加工容量;通过石墨盘晶片排布的最优化,其加工容量可以延伸到生长164片4英寸或72片6英寸晶片。
面向未来,中微公司表示,将继续瞄准世界科技前沿,持续践行三维发展战略,深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会,推进公司实现高速、稳定、安全发展。同时,其将坚持以市场和客户需求为导向,积极应对复杂形势,继续加大研发投入和业务开拓力度,推动以研发创新为驱动的高质量增长策略,抓住重点客户扩产投资机会,推进订制化精细化生产经营。