中国长城29日宣布,旗下郑州轨道交通信息技术研究院联合河南通用智能装备有限公司,用一年时间完成了半导体激光隐形晶圆切割设备的技术迭代,分辨率由 100nm 提升至 50nm,达到行业内最高精度,实现了晶圆背切加工的功能,大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。
此外,他们还宣布将持续优化工艺,在原有切割硅材料的技术基础上,实现了加工 CIS、RFID、碳化硅、氮化镓等材料的技术突破,对进一步提高我国智能装备制造能力具有里程碑式的意义。
2020年5月,研制出了我国首台半导体激光隐形晶圆切割机成功填补国内空白。这款切割机在关键性能参数上处于国际领先水平,标志着我国半导体激光隐形晶圆切割技术取得实质性重大突破,相关装备依赖进口的局面被打破。
据介绍,该装备可广泛应用于高能集成电路产品,包括 CPU 制造、图像处理 IC、汽车电子、传感器、新世代内存的制造,对解决我国半导体领域内高端智能装备“卡脖子”问题起到显着作用。