英特尔将采用全球首台High-NA EUV光刻机

日期:2021-07-27 来源:行业快报阅读:313
核心提示:英特尔公布将采用下一代极紫外光刻(EUV)技术的计划,即高数值孔径(High-NA)EUV。
英特尔公布将采用下一代极紫外光刻(EUV)技术的计划,即高数值孔径(High-NA)EUV。借此,英特尔有望率先获得业界第一台High-NA EUV光刻机。据悉,英特尔正在与ASML深入合作以确保攻关这一技术,并称将超越当前一代EUV。在时间表上,英特尔将其划归在2025年以后。
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