三星计划今年底导入Inpria无机光刻胶，有望应用于5nm制程

核心提示：据外媒报道，三星正致力于推动光刻胶供应多元化的实现，计划在今年之内导入Inpria的无机光刻胶，目前已经完成性能评估，有望应用于5nm超精细工艺制程。