日前，上海精测半导体国内首台12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）顺利出机。
上海精测半导体母公司精测电子7月13日披露的投资者调研纪要中指出，上述两款出机产品的客户为晶圆代工厂商中芯国际。前不久，东方晶源首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）也宣布斩获订单并出机中芯国际。
图片来源：上海精测半导体
据介绍，上海精测半导体12寸独立式光学线宽测量机台(OCD)是该类型的国内首台机台，主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）是全自动晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备，对光学缺陷检测设备的结果进行高分辨率复查、分析和分类。
资料显示，上海精测半导体成立于2018年7月，为精测电子旗下子公司，主要聚焦半导体前道检测设备领域， 致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产，现已形成了膜厚/OCD 量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。
精测电子投资者调研纪要信息显示，上海精测膜厚产品（含独立式膜厚设备）已取得国内一线客户的批量重复订单、OCD量测设备已取得订单并已实现交付，半导体电子束检测设备eViewTM 全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。
据了解，精测电子是国内较早从事平板显示检测系统业务公司之一，在平板显示领域已取得一定的市场地位，近年来正加速向半导体检测设备领域拓展。
2020年年报显示，精测电子目前已基本形成在半导体检测前道、后道全领域的布局——子公司武汉精鸿主要聚焦自动检测设备（ATE）领域（主要产品是存储芯片测试设备）；子公司WINTEST以及其在武汉的全资子公司伟恩测试现阶段主要聚焦驱动芯片测试设备领域；子公司上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域。
