国内首台关键尺寸量测设备出机中芯国际

近日，东方晶源举行国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。

此次出机的关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c410）面向300mm（12英寸）硅片工艺制程，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，向产业化目标整体迈进。