芯慧联成立于2019年,是一家专注于半导体领域专用设备设计及技术研发的企业,主要面向泛半导体领域的生产制造企业,为其提供配套的工艺设备、零部件、系统单元以及技术服务支持。
苏州芯慧联半导体科技有限公司于2019年1月份签约落户常熟高新区。据当时常熟国家高新区消息,苏州芯慧联汇聚了泛半导体领域资深人士组成专业化团队,主要研发、生产静电卡盘(简称E-CHUCK、ESC)。ESC是半导体干法刻蚀、PVD、CVD等制造设备最为关键的专业夹具,不仅对产品合格率起决定作用,还能增加5%硅片有效面积,达到更高产出比,是“会卡脖子”的核心技术。公司拟开发生产的ESC能够完全替代进口产品,投产后将实现半导体核心部件国产化零的突破。