日前，SK海力士位于京畿道利川市的M16半导体制造工厂发生毒气泄露事故，导致三名工人受伤。
韩国警方经调查认为，氢氟酸在维护公司正在试用环境分析设备时泄漏。据SK海力士表示，此次事故是在对新的M16工厂设备进行检查时发生的，泄露事故于泄露当日已处理妥善，只是少量泄露，对半导体生产没有影响。
三名受伤人员中，一名工人的胳膊和腿被烧伤。另有两名雇员因吸入氟酸气体而被转移至附近医院，3名员工均无生命危险。
据了解，氢氟酸(Hydrofluoric Acid)是氟化氢气体的水溶液，清澈，无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味。氢氟酸是一种弱酸，具有极强的腐蚀性，能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。如吸入蒸气或接触皮肤会造成难以治愈的灼伤。实验室一般用萤石(主要成分为氟化钙)和浓硫酸来制取，需要密封在塑料瓶中，并保存于阴凉处。
由于氢氟酸溶解氧化物的能力，它在铝和铀的提纯中起着重要作用。氢氟酸也用来蚀刻玻璃，可以雕刻图案、标注刻度和文字;半导体工业使用它来除去硅表面的氧化物，在炼油厂中它可以用作异丁烷和正丁烯的烷基化反应的催化剂，除去不锈钢表面的含氧杂质的“浸酸”过程中也会用到氢氟酸。氢氟酸也用于多种含氟有机物的合成，比如Teflon(聚四氟乙烯)还有氟利昂一类的致冷剂。
资料显示，SK海力士M16工厂于今年2月竣工，于两年前开工建设，累计投资达3.5万亿韩元，主要用于生产DRAM产品。新工厂的建筑面积大57000平方米，是SK海力士在全球最大的生产基地。SK海力士首次在M16引进EUV光刻设备，并从今年下半年开始生产1αnm DRAM产品。当时，SK集团会长崔泰源、副会长崔再源、SK海力士CEO李锡熙等多位SK集团和SK海力士的高管出席了竣工仪式。
