公告显示，3月11日，芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期货款购入该光刻机，剩余90%六个月内付清。后续公司将启动设备的运输及相关安装调试等工作。
公司表示，集成电路制造用ArF湿法光刻胶产品技术要求高、投资需求大，公司为加速集成电路制造用高端光刻胶全品类的国产化进程，减少上市公司业绩压力，通过参股子公司芯刻微进行Ar湿法光刻胶的研发，并与协议各方承诺未来通过向上市公司进行股权转让或技术转让等方式避免可能的同业竞争。
值得一提的是，这已不是上海新阳第一次购入光刻胶产品。3月8日，上海新阳公告称，经各方积极协商、运作，ASML-1400光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司场地，后续将进行安装调试等相关工作。公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付，对加快193nm ArF干法光刻胶产品开发进度有积极影响。
天眼查显示，合作方北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司大股东为芯链融创集成电路产业发展（北京）有限公司，后者由北京凯世通半导体有限公司在内的26个国内半导体优质公司共同出资组建。中芯国际、北京亦庄则占比各为25%并列为第二大股东。
此外，近期不少上市公司都在购买光刻机。2021年1月19日晚，晶瑞股份公告称，经公司多方协商、积极运作，顺利购得ASML XT 1900 Gi型光刻机一台。3月3日晚，中芯国际发布公告称，2021年2月1日，其与光刻机设备大厂阿斯麦（ASML）签订了批量设备采购协议，协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日，延长为从2018年1月1日至2021年12月31日。根据此批量采购协议，订单总金额约12亿美元。此外英诺赛科今年也公布购入光刻机设备。
自去年下半年以来，芯片缺货涨价已经成为半导体行业的主旋律。而光刻胶作为半导体光刻工艺的核心材料，决定了半导体图形工艺的精密程度和良率，成为了其中最受瞩目的环节之一。
中金公司曾指出，半导体设备和材料是高端制造业发展的基础，结合中芯国际潜在成熟制程获取美国设备许可证，建议关注上游设备及原材料的机会。
