晶瑞股份对媒体透露，“公司目前正在生产和销售的半导体光刻胶主要包括I 线和G 线光刻胶，此外还有印制电路板（PCB）和液晶显示器（LCD）光刻胶等；购买的光刻机主要用于未来高端半导体光刻机的研发。”
上述公告亦显示，该台光刻机已于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室，下一步，公司将积极组织相关资源，尽快完成设备的安装调试工作。
关于购买该设备的背景，公告则称：目前高端集成电路材料的核心产业化技术仍掌握在国外企业手中，大部分市场份额仍被外企所占据，不少集成电路用关键材料已经成为我国“卡脖子”的技术领域，在国际环境日益严峻的情况下，如不能成功实现该领域的国产化，未来将付出更大的代价。公司完成中试的KrF光刻胶已进入客户测试阶段，达到0.15μm的分辨率。本次购买的ASML光刻机设备系公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目的必要实验设备，旨在研发出更高端的ArF光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。
有关光刻机的具体研发用途，晶瑞股份还进一步表示：“公司采购的光刻机设备为ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻机，可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。”
当天，为了迎接这台光刻机，晶瑞股份还现场举行了搬入仪式。晶瑞股份董事长吴天舒在现场讲话中表示：“浸没式光刻机是高端光刻胶研发的关键设备，尽管投入巨大，晶瑞股份还是下定决心购买。为解决集成电路制造领域关键材料“卡脖子”问题，加速高端ArF光刻胶研发，建立研发平台，公司后续还将购置其他相关辅助设备，并尽早完成设备的安装调试，投入使用。”
消息发酵后，在尺度的股东群引起了热议，投资者对此看法不一。
乐观方认为，虽然这台光刻机不是最先进，但对于晶瑞股份或者中国半导体产业而言却是意义非凡。公开数据显示，欧美、日本企业在光刻胶领域长期处于垄断地位，前五大厂商占据了全球光刻胶市场87%的份额。由于国内光刻胶发展起步较晚，生产能力主要集中于PCB光刻胶、TN/STN-LCD光刻胶等中低端产品，而TFT-LCD、半导体光刻胶等高端产品依赖大量进口。
但谨慎方认为它是台二手货，并不那么看好。据媒体报道，晶瑞股份购买的这台光刻机设备为十年前的产品。当初由无锡SK海力士购入，但因为SK海力士工厂起火，更换了制程，这些设备被运到韩国。晶瑞股份购买的这台设备就是其中之一。
晶瑞股份购买二手光刻机设备最早得追溯至去年9月份。
2020年9月29日，晶瑞股份公告称，为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，公司拟斥资1102.5万（约为人民币7508万元）美元购买一台ASML（阿斯麦）光刻机。当日，其股价大涨20.04%（涨停），市值暴增超13亿元。
股价暴涨引起监管层注意。2020年9月30日，深交所对其下发关注函，要求公司说明拟购买光刻机设备的具体用途、资金来源，以及拟购买光刻机设备型号等问题。
晶瑞股份在回复深交所关注函时表示，本次拟购买的光刻机设备将用于公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF 光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。预计 2021 年上半年内完成运输并安装完毕。
晶瑞股份工作人员曾接受采访时表示，所购买的光刻机为二手设备，主要用途是研究而非生产制造。
市场炒作晶瑞股份股价的逻辑是光刻胶国产替代化，但买入光刻机设备并不意味着能立即带来积极效果。
事实上，光刻机维护成本较高。有业内人士表示，“一台光刻机就花了1000多万美元，还要购置涂布显影机、缺陷检验设备、膜厚检测机台等一系列相关辅助设备，还要建设洁净室……ArF光刻胶研发要大几亿元的投入。”晶瑞股份也提示风险称，该光刻机设备价格昂贵，其折旧及后续维护费用预计对公司的经营业绩存在一定影响。
