期间,由江苏博睿光电有限公司协办的“可靠性与热管理技术”分会上,电子科技大学刘成艺带来了关于n型4H-SiC上Ti/TiN/Pt欧姆接触电极在空气中高温退火处理的失效机理研究的主题报告。结合具体的实验数据,分享了电气性能、失效机理研究的最新成果。
从应用上来看,4H-SiC可以用于航空发动机压力监测的电容式压力传感器。具有高温、高压、高辐射的特点,输出电信号的高可靠性欧姆接触。从材料性能上看,4H-SiC最高工作温度1580℃,杨氏模量448gpa。SiC上Ti/TiN/Pt有低电阻,高工作温度的特点。也面临着很大的挑战,比如在空气中,欧姆接触在高达600℃的高温下会发生极大的退化,对SiC/Ti/TiN/Pt触头失效机理缺乏系统研究。研究中采用了不同热处理制备的接触试样和分析了样品的电学性能、微观结构和化学成分的实验方法。
其中,报告指出,其失效机理涉及TiO2颗粒物,SiO2和金属硅化物的峰型结构,锡的消耗,促进了钛和铂的扩散。金属化剥离,SiC氧化生成SiO2
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