三、材料
半导体材料发展历程
Si:主要应用于集成电路的晶圆片和功率器件;
GaAs:主要应用于大功率发光电子器件和射频器件;
GaN:主要应用于光电器件和微波通信器件;
SiC:主要应用于功率器件。
▲各代代表性材料主要应用
▲第二、三代半导体材料技术成熟度
细分领域已经实现弯道超车,核心领域仍未实现突破,半导体材料主要分为晶圆制造材料和封装材料两大块。晶圆制造材料中,硅片机硅基材料最高占比31%,其次依次为光掩模版14%、光刻胶5%及其光刻胶配套试剂7%。封装材料中,封装基板占比最高,为40%,其次依次为引线框架16%,陶瓷基板11%,键合线15%。
日美德在全球半导体材料供应上占主导地位。各细分领域主要玩家有:硅片——Shin-Etsu、Sumco,光刻胶——TOK、Shipley,电子气体——Air Liquid、Praxair,CMP——DOW、3M,引线架构——住友金属,键合线——田中贵金属、封装基板——松下电工,塑封料——住友电木。
(1)靶材、封装基板、CMP 等,我国技术已经比肩国际先进水平的、实现大批量供货、可以立刻实现国产化。已经实现国产化的半导体材料典例——靶材。
(2)硅片、电子气体、掩模板等,技术比肩国际、但仍未大批量供货的产品。
(3)光刻胶,技术仍未实现突破,仍需要较长时间实现国产替代。