PVT法同质外延AlN生长和p型掺杂面临的挑战
Challenges on homoepitaxial AlN growth and p-type doping by the PVT method
王琦琨——奥趋光电技术(杭州)有限公司研发总监(CTO)
PVT法同质外延AlN生长和p型掺杂面临的挑战
Challenges on homoepitaxial AlN growth and p-type doping by the PVT method
王琦琨——奥趋光电技术(杭州)有限公司研发总监(CTO)