平片蓝宝石衬底上高质量AlN材料MOCVD外延生长
High quality AlN growth on flat sapphire at relative low temperature by MOCVD
赵德刚——中国科学院半导体所研究员
ZHAO Degang——Profesor of Institute of Semiconductors, CAS
平片蓝宝石衬底上高质量AlN材料MOCVD外延生长
High quality AlN growth on flat sapphire at relative low temperature by MOCVD
赵德刚——中国科学院半导体所研究员
ZHAO Degang——Profesor of Institute of Semiconductors, CAS