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MOCVD2022
大连理工大学张赫之: 两步法在蓝宝石衬底上生长高质量β-Ga2O3厚膜的研究
2023-05-22 播放:
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两步法在蓝宝石衬底上生长高质量
β-Ga
2
O
3
厚膜的研究
张赫之
,张嵩,董增印,张文辉,程丽媛,梁红伟
*
大连理工大学
中国电子科技集团公司第四十六研究所
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