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刘志彬：溅射中痕量氧气对高温退火AlN模板的极性调节作用
2022-01-05 播放:
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《溅射中痕量氧气对高温退火AlN模板的极性调节作用》
作者：刘志彬，郭亚楠，闫建昌，曾一平，李晋闽，王军喜
单位：中国科学院半导体研究所，中国科学院大学
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