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WBSC 2021
陈荔：基于高温热退火技术的半极性AlN外延薄膜缺陷演化研究
2022-01-05 播放:
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《基于高温热退火技术的半极性AlN外延薄膜缺陷演化研究》
作者：陈荔，郭炜，林伟，陈航洋，康俊勇，叶继春
单位：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，厦门大学
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