江苏大学左然教授分享了《AlN MOCVD的气相和表面反应机理的量子化学计算》研究报告。他介绍到，课题组利用量子化学的密度泛函理论（DFT），对AlN MOCVD的气相和表面反应进行的理论研究。在气相反应中，已知三条反应路径：TMAl直接热解、TMAl氢解、以及TMAl与NH3的氨基物的形成和聚合。