瑞士MicrodiamantChristian JENTGENS:多晶金刚石微纳米粉在SiC晶片加工中的应用及其关键工艺技术
2022-02-10 播放:2111
瑞士Microdiamant研发部门负责人Christian JENTGENS带来了题为“多晶金刚石微纳米粉在SiC晶片加工中的应用及其关键工艺技术”的主题报告,报告表示,碳化硅业务的主要目标是提高效率,并介绍了SiC晶圆加工的个性化解决方案,从厂商角度分享了碳化硅晶圆最重要的特征,如何判断产品品质优劣以及关键的流程步骤等内容。