【视频】西安交通大学副教授李强:六方氮化硼薄膜的磁控溅射制备及光电特性
2022-02-10 播放:1535
西安交通大学副教授李强做了题为“射频溅射技术制备h-BN薄膜的制作与应用”的主题报告,分享了溅射制备的hBN膜,包括工艺条件的选择,hBN的性质,以及hBN膜的应用,包括电阻开关行为等内容。 报告指出,所制备的hBN膜可以在大面积上获得良好的光滑度。由BN和BAlN薄膜组成的DBR可以在UVA波段实现高反射。首先在Ag / hBN / Al结构中观察到通过溅射制备的hBN膜的RS行为。掺铝氮化硼薄膜的RS窗口明显增加。