德国爱思强股份有限公司Vincent MERIC分享了化合物半导体外延量产解决方案，讨论6英寸到8英寸的GaAs VCSEL激光器、GaN/InGaAs Micro LED以及SiC/GaN功率电子器件制造方案。并探讨了外延的均匀度和缺陷，介绍了相关解决方案。