日前，位于浙江丽水经开区的丽水睿昇半导体科技有限公司集成电路制造设备用关键零部件产业化项目传来新动向。睿昇半导体是宁波江丰电子材料股份有限公司的二级子公司。后者是专业从事超大规模集成电路高纯金属材料及溅射靶材研发生产的国家高新技术企业。

丽水经济技术开发区消息显示，作为宁波江丰电子在丽水投资的3个大项目之一，睿昇半导体集成电路制造设备用关键零部件产业化项目总投资10亿元，于2022年招引落地，主要建设集成电路大型溅射设备零部件生产线，生产传输平台、反应腔、传输腔、焊接反应腔等产品。建成达产后，可实现年产6000套集成电路制造设备用零部件的生产能力，预计可实现年产值15亿元、税收1.1亿元。

目前，该项目基础工程已经全部完成，开启了建设冲刺模式。截至目前，项目整体施工进度已达75%，同时大部分设备已进场调试并开始产品打样。预计7月，项目即可实现正式投产。