近日，随着最后一根钢梁吊装就位，拓荆科技（上海）半导体先进工艺装备研发与产业化项目”主体钢结构全面完工，喜封金顶。

临港新片区高科处二级调研员王佩华，拓荆科技（上海）总经理陈新益，地产闵虹党委书记、执行董事冯晓明，地产闵虹副总经理、闵联临港公司董事长刘焙等领导及嘉宾共同见证了这一重要时刻。

拓荆科技（上海）有限公司（以下简称“公司”）成立于2020年12月，是拓荆科技股份有限公司（股票代码：688072）在临港设立的全资子公司。公司注册资金4.8亿元人民币，主要从事高端集成电路薄膜装备的研发、生产与销售。

公司聚焦半导体薄膜沉积设备，是国内专用量产型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD设备领军企业。经过十余年的耕耘，公司形成了多项核心技术，设备产品达到国际同类产品先进水平，并在集成电路领域实现了产业化应用，为促进我国集成电路产业的快速发展作出贡献。

本项目计划总投资9.3亿元，建筑面积约10万㎡，用于开发先进的ALD薄膜工艺技术及高产能设备平台，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。拓荆上海将以市场需求为导向，开展自主研发，突破核心技术，形成100%自主知识产权产品并实施产业化，为新片区集成电路产业发展贡献力量！