2022年10月23日上海真空学会真空半导体专业委员会成立仪式在复旦大学国家科技园“复创芯”举行，近20多家半导体真空设备、零部件的企业成为专委会的首批会员。据悉，真空半导体专委会的成立，是为了更好搭建“产学研政金”合作交流平台，推动科研与企业、产业、金融更加紧密结合。