报告显示，本期营业收入9.49亿元，较上年同期增加约3.46亿元，同比增长57.31%，主要系：（1）受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，本报告期刻蚀设备收入为7.14亿元，较上年同期增长约105.03%；（2）由于公司新签署的Mini LED MOCVD设备规模订单在本期尚未确认收入，MOCVD设备本期收入为0.42亿元，较上年同期下降约68.59%。
本期归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为1.86亿元，较上年同期的0.11亿元增加1.75亿元，同比增长1,578.18%，主要系本期营业收入较上年同期增加3.46亿元，同时本期毛利率从去年的40.92%增长至45.47%，增加4.55个百分点，本期毛利较上年同期增加约1.85亿元。
本期归属于上市公司股东的净利润为1.17亿元，较上年同期减少约0.21亿元，下降约14.94%，主要系本期收入和毛利增长下扣除非经常性损益的净利润较上年同期增加1.75亿元，但本期非经常性损益较上年同期减少约1.96亿元。非经常性损益的变动主要包括：（1）本期计入当期损益的政府补助收益为0.04亿元，较上年同期的1.69亿元减少约1.65亿元；（2）由于公司持有的中芯国际和天岳先进的股票价格在本期有较大下降，公司本期产生相关的公允价值变动损失1.01亿元，而上年同期公司股权投资为损失0.24亿元，该因素导致本期利润较上年同期减少约0.77亿元。