近日，日本半导体材料制造商JSR株式会社宣布，将收购总部位于美国俄勒冈州科瓦利斯的Inpria，后者为世界领先的极紫外 (EUV) 光刻金属氧化物光刻胶设计、开发和制造厂商。

 

新闻稿指出，JSR曾在2017年和2020年参与了Inpria的融资轮次，并拥有该公司21%的流通股。

 

通过此次交易，JSR将收购Inpria的剩余股份，Inpria将成为JSR的全资子公司。此次收购的执行取决于多项条件，包括收到监管许可，预计将于2021年10月底完成。双方已就Inpria的商业价值达成了5.14亿美元（约合565.4亿日元）的协议。
 

△Source：JSR官网

 

光刻胶是国际上技术门槛最高的微电子化学品之一，高端产品的研发和生产主要由日系JSR、信越化学、东京应化等少数公司所垄断。

 

资料显示，JSR设立于1957年，是全球知名的半导体材料厂商，主要产品包括光刻材料（光刻胶、多层材料）、CMP材料、镶嵌材料、清洗剂等，其他业务还包括合成树脂的制造、生命科学等。

 

而Inpria总部设在美国俄勒冈州，自2007年成立以来，Inpria一直致力于金属EUV光刻胶的研发，实现了全球最高的EUV曝光性能边际分辨率，已成为极紫外光刻(EUV) 的高分辨率金属氧化物光阻剂先驱，在金属氧化物光阻剂的设计、开发和制造方面居全球领导地位。

 

JSR表示，此次收购是一种战略方法，通过在我们的光刻胶产品中添加Inpria的金属抗蚀剂，可以无缝地提供作为半导体材料供应商的价值。