火警发生原因疑似是上午由外包商正在进行P6厂变电设备保养时，突然因超载发热起火，消防设备随即启动进行二氧化碳灭火，过程中造成1名施工人员不慎遭二氧化碳呛伤，但意外并未造成其他人员伤亡。
新竹市消防局在上午9点50分对外表示，接获通报称竹科有杂草燃烧，消防人员抵达现场后发现是台积电12厂外围的变电站内火警，立刻转知责任单位新竹县消防局。新竹县消防局抵达现场后未见火势，只见冒着浓浓白烟，初步了解是配电盘短路后起火，协助排烟后状况很快解除。
随后，台积电对外回应称，“台积公司晶圆12B厂今日（31日）上午，厂内变电站因元件异常而启动二氧化碳灭火系统，导致一名下包商员工吸入过量二氧化碳，救护车于第一时间送往医院并通知家属，目前人员意识清醒，现留院观察。”
显然此次事故并未对台积电的晶圆生产造成影响，只是虚惊一场。