技术
ASML公布新半导体技术 5nm产能有望暴涨
日期:2020-06-01  366
  日前,荷兰半导体设备制造商ASML通过公司官网宣布,完成了新产品,第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试,该设备能同时产生和控制九道电子束,与单个电子束检查工具相比,将使检测系统的吞吐量提高600%。
  尽管这一产品并非直接用来制造晶圆,而是一套检测系统,但其对晶圆质量的检测效率,也会对整体生产效率产生很大影响。尤其在5nm这样先进工艺的情况下,显得更为重要。
 
  目前,首台HMI eScan1000将于本周交付客户检验。ASML还计划继续增加光束数量并提高精度,来满足未来芯片制造商对于产品工艺的更高要求。
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