日前，荷兰半导体设备制造商ASML通过公司官网宣布，完成了新产品，第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试，该设备能同时产生和控制九道电子束，与单个电子束检查工具相比，将使检测系统的吞吐量提高600％。

　　尽管这一产品并非直接用来制造晶圆，而是一套检测系统，但其对晶圆质量的检测效率，也会对整体生产效率产生很大影响。尤其在5nm这样先进工艺的情况下，显得更为重要。

 

　　目前，首台HMI eScan1000将于本周交付客户检验。ASML还计划继续增加光束数量并提高精度，来满足未来芯片制造商对于产品工艺的更高要求。