一个极具“高新”特色的沈阳企业精彩亮相，一声沈阳IC产业舰队加速行进的号角已经吹响。12月16日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（简称芯源微）在上海证券交易所科创板成功首发上市，成为上交所第66家通过证监会注册并上市的科创板企业，是辽宁省科创板“第一股”，更被赞誉为中科院科创板“第一股”、中国半导体光刻设备上市“第一股”。其成功上市，成为我国光刻设备板块进军资本市场的标志性事件。

 

　　半导体被称为制造业皇冠，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，半导体装备则被称为这顶皇冠上的明珠，是核心中的核心、基础中的基础。芯源微所处的正是半导体装备产业链上游核心环节，因为在行业发展中占据如此重要地位，芯源微开盘当日即取得了不俗的成绩：发行价格为26.97元，收盘价格已达64.5元，当日涨幅达139.15%。

　　科创板的设立，是我国促进科技与资本深度融合、引领经济发展向创新驱动转型的重大举措。芯源微在省市沈阳高新区三级部门长期推动下的成功上市，带足了具有硬核科技创新创业、核心科技上市的“高新”特色。

 

　　硬科技是指高精尖原创关键核心技术，芯源微的“硬”性体现在三个方面：一是技术含量高、真金白银，需要长期研发投入、持续积累形成；二是价值高，面向先进制造业和国家需求，对提升国家综合竞争力、推动经济发展具有较强支撑引领作用；三是硬骨头，硬科技的成果应用没有水分和泡沫，短期内难以结合巨大的终端市场迅速扩充市场规模，所以研发、应用过程尤其需要使命感、需要定力、需要坚韧不拔、攻坚克难。

 

　　聚焦同一领域，十七年磨一剑。“作为国家集成电路重大科技专项（02专项）支持的唯一一家国产涂胶显影设备企业，成为该科技专项实施以来培育起来的第一家以光刻设备研发和产业化为目标的上市公司，芯源微上市标志着我国集成电路装备中光刻设备已经进入资本市场加速发展，为不久的将来实现光刻机这一核心战略产品的国产化及成套供应提前做好了准备。国家02专项副总师朱煜说。”通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，芯源微自主开发了涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品。芯源微专注国产半导体装备研发制造，甘于寂寞、敢于啃硬骨头，已累计销售近700台套，堪称细分市场的“隐形冠军”。

 

　　“芯源微是中科院在科创板上市的第一家院所投资企业，是创新链、产业链、资本链‘三链联动’的成功范例。”中国科学院副院长张涛说。芯源微由中科院沈阳自动化所于2002年发起创立，主营产品是集成电路生产过程中必须的几类设备，目前是国内唯一的中高端涂胶显影设备提供商；连续牵头承担国家科技重大专项，拥有专利350多项，主持制定2项行业标准。芯源微产品目前已销往海内外近百家客户，获评中国半导体设备行业十强，是国家首批“专精特新”小巨人企业。

 

　　“市场上最新款的每一部苹果手机、华为手机，都在用我们芯源微的设备封装出来的芯片，包括前置摄像头、指纹识别器件等。”芯源微董事长、总经理宗润福说，“芯源微最新推出的拳头产品，命名为奉天1号，设备单台售价2000多万，覆盖100亿元的市场规模，我们就是要让全行业全世界都知道，沈阳不但能生产出传统的重型设备，也能生产出全世界最先进的高大上的设备。”

 

　　12月16日，IC产业的相关专家表示，芯源微成为东北实施创新驱动发展战略和加快新旧动能转换的例证。在打造IC装备领域世界级企业的发展进程中，芯源微联合沈阳高新区优势企业（沈阳科仪公司、拓荆公司、新松公司、富创精密、自动化所、博微公司等）共同争取国家02重大专项，实现产业配套，协同发展，形成了半导体装备产业的集聚效应，促进地方经济快速发展；作为整机研发生产企业，芯源微产品的快速产业化，促进了新松的净化机械手、富创精密加工、博微软件等企业发展，因而成为东北地区IC装备的先锋。

 

　　“芯源微电子公司的成功上市为企业的加速发展提供了动力，沈阳高新区良好的IC装备产业生态环境和众多优质企业也吸引了投资机构的目光，沈阳科仪、富创精密、拓荆科技、中科博微等一批创新发展企业已与多家投资公司合作，即将陆续迈入科创板行列。”沈阳高新区党工委委员张书炜说。

 

　　打破国际垄断，实现进口替代，推进经济转型，形成国际先进、国内领先水平的产业集群。芯源微电子等“隐形冠军”正在伴随沈阳高新区的创新驱动，成为辽宁省依靠科技进步、引领转型升级实现高质量发展的一面旗帜。